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光刻机是什么原理(光刻机是什么原理工作的)

光刻机是一种利用光学原理进行微电子器件制造的设备。其原理是利用光阻剂和掩膜之间的光化学反应来形成模式，并通过多次重复曝光和刻蚀过程来制造微米级和亚微米级的结构。...