光刻机是一种利用光学原理进行微电子器件制造的设备。其原理是利用光阻剂和掩膜之间的光化学反应来形成模式，并通过多次重复曝光和刻蚀过程来制造微米级和亚微米级的结构。
在光刻过程中，制造者首先需要设计所需的芯片结构图，并通过计算机软件生成对应的掩膜图像。然后将该图像制备成一个透明的光刻掩膜。接着，在光刻机中将光刻掩膜和光刻胶层放置在样品上方。紫外线或电子束等辐射源产生的高能光子将掩膜上的图案投射到光刻胶层中，在光刻胶层中产生光滞效应，进而在胶层上形成微细图案。经过后续的刻蚀处理，这些图案就可以被转移到芯片表面上，从而制造所需的微电子器件。
光刻技术的应用范围非常广泛，如在集成电路制造领域，它被广泛用于制备微处理器、存储器芯片、传感器、MEMS器件等微型芯片；在平板显示器和太阳能电池制造领域，光刻技术也发挥着至关重要的作用。光刻技术也在生命科学领域中得到应用，用于制备生物芯片、微加工生物器件等。
光刻机是一种非常重要的微电子制造设备，其原理简单易懂，应用广泛，有着重要的现实意义。
